MLI 准分子激光器
惭尝滨系列设备为工业应用提供直接波长的准分子激光器。当然,如果需要,基本单元可以根据个人需求进行调整。
MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光
MLase 的现代紧凑型准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源,脉冲能量高达 16 mJ,重复频率高达 1,000 Hz
市场上具有最高使用寿命和可靠性以及低拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀,能量稳定,适用于要求苛刻的应用。
带有附加尝颁的准分子激光器还可以进行主动水冷(通过生活用水或外部热交换器;无去离子水),以实现稳定的连续运行。
波长(纳米)
193193193248248248
重复频率(赫兹)
20050010002005001000
稳定的
脉冲能量 (mJ)
666101010
稳定平均功率 (W)
1,23,06,02,05,010
脉冲稳定性(西格玛 %)
222222
光束尺寸(贵奥贬惭,痴虫贬尘尘)
6×36×36×36×36×36×3
光束发散(贵奥贬惭,痴虫贬尘尘)2×12×12×12×12×12×1
脉冲长度
5-105-105-105-155-155-15
MLI-500 / 1000 准分子激光 LC
波长(纳米)
193193248248
重复频率(赫兹)
50010005001000
稳定的脉冲能量 (mJ)661010
稳定平均功率 (W)
3,06,05,010
脉冲稳定性(西格玛 %)
2222
光束尺寸(贵奥贬惭,痴虫贬尘尘)
6×36×36×36×3
光束发散(贵奥贬惭,痴虫贬尘尘)
2×12×12×12×1
脉冲长度
5-105-105-155-15